聚焦离子束（FIB）微纳加工实验室

发布者：教学与实验室办公室发布时间：2023-12-06 浏览次数：10

聚焦离子束（FIB）微纳加工实验室隶属于机械工程学部，采用聚焦电子束/离子束双束系统，可以同时具备扫描电镜高分辨率成像及聚焦离子束加工的功能，用扫描电镜可以对样品精确定位并能实时观察聚焦离子束的加工过程。搭配能谱（EDS）和电子背散射衍射（EBSD），实现加工样品、观察形貌、分析成分、获取晶体学取向等多重功能。可以用于固体样品上制备微纳结构、高质量定点TEM样品制备、离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积等。

目前，有专兼职研究人员3人，其中高级职称1人，具有博士学位者3人。