先进微纳装备中心

发布者:教学与实验室办公室   发布时间:2023-12-06   浏览次数:10

先进微纳装备中心结合超精密加工原理、微纳操作与装配技术,聚焦研发特异性柔性微纳器件与测试检测系统,实现医工结合的关键共性技术突破。

中心主要有无掩模激光直写光刻机系统、真空蒸镀机、等离子刻蚀机、高分辨倒置荧光显微镜、显微操作平台等设备。团队成员发表在ACS nano, Small, ACS AMI、Microsystem&Nanoengineering等著名学术SCI刊物发表代表性论文30余篇,中心核心技术所申请国内/国际专利共20余件,先后承担国家省市等纵向课题10余项。

中心于2019年8月成立,现有教研人员6人,分别来自中国科学院、山东大学以及海外的诺丁汉大学、多伦多大学等知名高校,组建一支经过科研训练的交叉学科研究团队,具备扎实的学科知识储备和严格的科研素养。

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